簡要描述:日本KURODA硅片平整度 / SORI 測量系統(tǒng)用于成膜時的工序控制和卡緊時平整度控制水平旋轉(zhuǎn)、真空卡盤式φ300mm晶圓用表面形狀檢驗裝置。邊緣排除區(qū)小1mm,可進行盒至盒的SORI、平整度等高精度自動測量。
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 地礦,建材,電子,交通,紡織皮革 |
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日本KURODA硅片平整度 / SORI 測量系統(tǒng)
用于成膜時的工序控制和卡緊時平整度控制
水平旋轉(zhuǎn)、真空卡盤式φ300mm晶圓用表面形狀檢驗裝置。
邊緣排除區(qū)小1mm,可進行盒至盒的SORI、平整度等高精度自動測量。
量程 | φ300mm |
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顯示分辨率 | 10nm |
測頭 | 非接觸激光位移計 |
測量方式 | 水平旋轉(zhuǎn)方式 |
日本KURODA硅片平整度 / SORI 測量系統(tǒng)
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